2", 3" ja 4" GaSb-alusta

Yleiset TEKNISET TIEDOT

Koko

2"

3"

4"

Suuntautuminen

(100)±0,1 astetta

(100)±0,1 astetta

(100)±0,1 astetta

Halkaisija (mm)

50.5±0.5

76.2±0.4

100.0±0.5

OF Orientaatio

EJ

EJ

EJ

Toleranssi

±0,1 astetta

±0,1 astetta

±0,1 astetta

OF pituus (mm)

16±2

22±2

32.5±2.5

JOS pituus (mm)

8±1

11±1

18±1

Paksuus (μm)

500±25

625±25

1000±25

Kokoa voitiin mukauttaa.

Johtavuus ja lisäaine

Seostusaine

Johtavuuden tyyppi

CC/cm^-3

Liikkuvuus/cm²V^-1S^-1

Dislokaatiotiheys/ cm^-2

Seostamaton

p-tyyppi

Pienempi tai yhtä suuri kuin 2x10^-17

>500

2", 3", 4" Pienempi tai yhtä suuri kuin 1000

Telluuri (Te)

n-tyyppinen

(0.5~9)x10¹⁷

3500~2000

2", 3", 4" Pienempi tai yhtä suuri kuin 1000

Tiukemmat sähkömittaukset voidaan toimittaa pyynnöstä.

Tasaisuus

Pinta

2"

3"

4"

Kiillotettu/etsattu

TTV (μm)

<8

<8

<10

Keula (μm)

<8

<8

<10

Käyrä (μm)

<12

<12

<15

Kiillotettu/kiillotettu

TTV (μm)

<5

<5

<5

Keula (μm)

<5

<5

<5

Käyrä (μm)

<8

<8

<10