Piikiekkojen puhdistusmenetelmä

Piikiekot on puhdistettava tarkasti puolijohdelaitteiden valmistuksen aikana. Pienetkin määrät kontaminaatiota voivat aiheuttaa laitteen toimintahäiriön. Puhdistuksen tarkoituksena on poistaa pinnan epäpuhtaudet, mukaan lukien orgaaniset ja epäorgaaniset aineet. Jotkut näistä epäpuhtauksista esiintyvät piikiekkojen pinnalla atomi- tai ionitilassa, ja jotkut ovat ohuiden kalvojen tai hiukkasten muodossa. Orgaaninen kontaminaatio sisältää fotoresistin, orgaanisten liuotinjäämien, synteettisen vahan ja rasvan tai kuidut, joita ihminen on tuonut kosketuksiin laitteiden, työkalujen ja ruokailuvälineiden kanssa. Epäorgaaniseen kontaminaatioon kuuluvat raskasmetallit, kuten kulta, kupari, rauta ja kromi, jotka vaikuttavat vakavasti vähemmistökantajan käyttöikään ja pinnan johtavuuteen; alkalimetallit, kuten natrium, jotka aiheuttavat vakavia vuotoja; hiukkaskontaminaatiota ovat piikuona, pöly, bakteerit, mikro-organismit, orgaaniset kolloidiset kuidut jne., jotka voivat aiheuttaa erilaisia ​​vikoja. Likaantumisen poistamiseen on kaksi tapaa: fyysinen puhdistus ja kemiallinen puhdistus.