Kiekkojen viat ja syyt

Kiekot jaetaan paljaiksi kiekkoiksi ja kuviollisiksi kiekkoiksi kuvan 6 mukaisesti. Lähtökohdat näiden kahden kiekkotyypin vikatyyppien tarkastelussa ovat hieman erilaiset. Kiekon pinnassa on monenlaisia ​​vikoja, jotka voivat johtua prosessista tai itse materiaalin vioista. Erilaisia ​​vikojen havaitsemismenetelmiä voidaan käyttää vikojen jakamiseen eri tavalla. Kun otetaan huomioon vikojen fyysiset ominaisuudet ja myöhemmän vianilmaisualgoritmin tarkoituksenmukaisuus, viat voidaan yksinkertaisesti jakaa pintaredundanssiin (hiukkaset, epäpuhtaudet jne.), kidevirheisiin (liukuviivavirheet, pinoamisvirheet), naarmuihin ja kuvioihin. viat (kuvioidut kiekot).
Pinnalliset redundanssit
Kiekon pinnalla on monenlaisia ​​redundansseja, jotka vaihtelevat kymmenien nanometrien pienistä hiukkasista jopa satojen mikrometrien kokoisiin pölyihin sekä edellisen prosessin jättämiin pintajäämiin. Hiukkasia voidaan lisätä prosesseissa, kuten etsauksessa, kiillotuksessa ja puhdistuksessa. Ylimääräiset viat johtuvat pääasiassa kiekon pinnan pölystä tuotannon ja käsittelyn aikana, ilman puhtaudesta, joka ei täytä standardia, ja kemiallisista reagensseista käsittelyn aikana. Nämä hiukkaset estävät valon valolitografian aikana, mikä aiheuttaa vikoja integroidun piirin rakenteessa. Epäpuhtaudet voivat tarttua kiekon pintaan, mikä aiheuttaa epätäydellisiä kuvioita ja vaikuttaa sirun sähköisiin ominaisuuksiin, kuten kuvassa 7.
Kristalliviat
Liukumislinjan viat ovat myös yleinen vika. Ne johtuvat epätasaisesta kuumenemisesta kiteen kasvun aikana. Ne muodostavat yleensä vaakasuuntaisia ​​ohuita suoria viivoja kiekon ulkoreunaan. Koska liukuviivan koko on suhteellisen suuri, se voidaan tunnistaa manuaalisella havainnolla.
Pinoamisvirheet ovat myös vikoja, jotka löytyvät epitaksiaalisista kerroksista. Ne johtuvat yleensä tiiviisti pakattujen tasojen normaalin pinoamisjärjestyksen tuhoutumisesta kiderakenteessa. Niiden koko on yleensä mikronin tasolla.
Mekaaninen vaurio
Mekaanisilla vaurioilla tarkoitetaan yleensä kiillotuksen tai viipaloinnin aiheuttamia naarmuja kiekon pinnalla. Se johtuu yleensä kemiallisesta mekaanisesta kiillotuksesta (CMP) ja on kaaren muotoinen tai se voi jakautua epäjatkuvan pisteen muotoon, kuten kuvassa 10 näkyy. Tämä vaurio voi olla suuri tai pieni, ja se vaikuttaa yleensä kiekkopiirin liitettävyyteen. Se on vakavampi vika. Tämä vika voidaan korjata, ja se voi johtua väärästä mekaanisesta käytöstä.